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行业新闻

2018-03-23

随着我国国民经济的持续稳定增长和生产技术的不断创新发展，生产工艺对生产环境的要求越来越高。大规模和超大规模Ic生产中的前后道各工序对生产环境提出了更高要求，不仅仅要保持一定的温、湿度、洁净度，还需要对静电防

2018-03-23

第一、ESA（ElectroStaticAttraction）静电吸附，它会造成严重的污染。我们知道IC生产工艺要求的是洁净车间或超净车间。但国内很少有厂家能做到无尘室里一粒particle都没有，现在要求灰尘颗粒粒径由原来的0.3μm降低到现

2018-03-23

静电消除器也叫除静电设备，主要功能是消除物与综合物体表面的静电。主要有以下几种。离子棒：离子棒为棒型静电消除器，分为有气源型和无气源型。原理是通过离子棒上面的电极针电离空气释放正负离子综合物体表面静电，安